螺桿真空泵的分類

瀏覽： 2070| 2018-10-09 15:37:04 | 分享：

　　螺桿真空泵可以產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，它屬于一個更新換代產品，為了滿足不同人的需求生產廠家將其分為多種類型，下面就給的大家介紹一下它的分類：

　　一、內部壓縮型螺桿式螺桿真空泵：

　　1、在很多工藝中，這種內部壓縮同多級泵一樣，極易造成氣體在泵體內的物理化學變化而產生固化或液化。

　　2、基本原理非常相似，螺桿間容積的不斷減小使得其內部產生壓縮。

　　3、這種設計由于產生內部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當的水平。

　　二、三葉圓裂片式：

　　1、它的設計和雙圓裂片式設計的原理相同，它只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是象雙圓裂片式設計分為兩份。

　　2、為了進一步降低耗電量在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達，但這也會導致扭矩減小重新啟動的能力下降。

　　3、同雙圓裂片式設計一樣，三葉圓裂片式設計的每一個級別都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。

　　三、外部壓縮型螺桿式：

　　1、在外部壓縮型螺桿式設計中，使用一對等距螺桿，這使得內部壓縮減到很小，同時使得氣體通路很短也很簡單。

　　2、這種單級設計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單，這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性，在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮氣。

　　3、氣體在泵體內停留的時間也很短，雖然這種設計由于減少了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較高，但在很多復雜的半導體工藝中表現出極高的穩定性。

　　四、雙圓裂片式：

　　設計和目前是非常流行和廣泛應用的，為了達到好的真空度對各級的間隙有非常嚴格的要求，這種設計由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。

　　五、組合式螺桿真空泵：

　　1、羅茨+爪組合式設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。

　　2、在很多工藝中，組合式設計的每一個級別都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。

　　3、基本原理和氣體通路和圓裂片式設計完全相同，也有將其改為星型設計，這樣可以在旋轉一圈中將氣體分為五份，就跟三圓裂片式設計一樣，將其分為三份。

　　因為應用的行業、用戶需求不同所以螺桿真空泵的種類也不同，大家在選擇的時候要依據自己的行業和需求來選擇，在選擇的時候要明確自己的物理尺寸，避免買的不合適，退換很麻煩。

　　小編：mxy